Alicat Scientific M系列质量流量计是准确，灵活，可靠和成本效益的测量气体流量的解决方案。流量范围0.5 SCCM to 2000 SLPM，100:1的量程比。基本精度为读数的±0.8％±0.2％满量程。响应时间仅为10毫秒，了质量流量测量，M系列测量压力，温度和体积流量。所有测量参数实时显示在数字显示屏上，RS-232接口。